
作為磨料的氧化鋁顆粒,其粒度大小、形狀、粒度分布都會影響拋光效果。在粒度大小上,α-氧化鋁粉末的一次粒徑(原晶大小)與表面拋光效果有直接關(guān)系,細且均勻的粒子不僅本身更利于獲得優(yōu)秀的表面質(zhì)量,同時由于具有更強的體積效應(yīng),在拋光時更不易被壓碎,產(chǎn)生邊緣鋒利的二次粒子,對工件表面造成破壞。因此超細球形氧化鋁粉理論上可以使工件達到較高的平整度,滿足精拋的需求。而在形貌上,球形氧化鋁不僅帶來了更好的分散性和流動性,緩解超細粉體較高表面能帶來的團聚堆積現(xiàn)象,從而能被均勻分布在被拋光產(chǎn)品中,而且表面光滑無棱角的顆粒形貌,也可以避免對工件表面的造成細微劃傷,從而進一步提高拋光表面的光潔度。目前高純、亞微米級球形氧化鋁粉常被制備高級化學(xué)機械拋光液,用于精密光學(xué)器件、石英晶體和半導(dǎo)體單晶等高精尖產(chǎn)品的加工。

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